发明名称 PASSIVATION METHOD OF GAAS<100>SURFACE
摘要
申请公布号 KR0139723(B1) 申请公布日期 1998.07.15
申请号 KR19940032652 申请日期 1994.12.03
申请人 ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 HA, JUNG-SOOK;PARK, SUNG-JOO;PARK, GANG-HO;LEE, IL-HANG
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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