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发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER CASE, CONNECTION METHOD AND APPARATUS, AND INSPECTION METHOD FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT, PROBE CARD, AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 KR0140034(B1) 申请公布日期 1998.07.15
申请号 KR19940032588 申请日期 1994.12.02
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO.,LTD 发明人 NAGADA, YOSHIROU;YAMADA, TOSHIO;FUJIWARA, ATSUSHI;MIYANAGA, ISAO;HASHIMOTO, SHIN;URAOKA, YUKIHARU;OKUDA, YASUSHI;HATADA, KENZO
分类号 G01R1/04;G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R1/04
代理机构 代理人
主权项
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