| 摘要 |
<p>본 고안은 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로, 반도체 소자 제조공정 중 웨이퍼를 공정간 이동시킬 경우, 웨이퍼 하부면과 접촉하여 웨이퍼를 이송시키는 웨이퍼 홀더의 상부면 또는 선단부 전면에 감지기를 설치하여 웨이퍼 존재의 유, 무를 확인한 후 웨이퍼 이송운동이 진행되도록 하여 종래의 일정한 순서에 의해 반복적으로 이송운동됨에 의해 웨이퍼 파손 및 장비의 고장등을 방지할 수 있고, 또한 웨이퍼 홀더가 이송장치의 이송오류로 인한 장비내에서의 벽면등과의 충돌로 장비의 파손 등을 방지하도록 하여 반도체 소자 제조에 따른 제조수율을 향상시킬 수 있다.</p> |
