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发明名称 PROCESS CHAMBER WITH INNER SUPPORT
摘要
申请公布号 EP0852628(A1) 申请公布日期 1998.07.15
申请号 EP19960926233 申请日期 1996.08.01
申请人 ADVANCED SEMICONDUCTOR MATERIALS AMERICA, INC. 发明人 WENGERT, JOHN, F.;JACOBS, LOREN, R.;HALPIN, MICHAEL, W.;FOSTER, DERRICK, W.;VAN DER JEUGD, CORNELIUS, A.;VYNE, ROBERT, M.;HAWKINS, MARK, R.
分类号 B01J3/00;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/46;C23C16/48;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/687;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
主权项
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