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发明名称 EVACUATION APPARATUS AND EVACUATION METHOD
摘要
申请公布号 KR0145417(B1) 申请公布日期 1998.07.15
申请号 KR19900006431 申请日期 1990.05.08
申请人 TOSHIBA KK.;EBARA CORPORATION KK. 发明人 OKUMURA, KATSUYA;KURIYAMA, FUMIO;MURAI, YUKIO;TSUJIMURA, MANABU;SOBUKAWA, HIROSHI
分类号 F04B37/16;B01J3/02;F04B37/06;F04D19/04;H01L21/302;H01L39/24;(IPC1-7):B01J3/02 主分类号 F04B37/16
代理机构 代理人
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