发明名称 DEFECT INSPECTION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH10185831(A) 申请公布日期 1998.07.14
申请号 JP19960356013 申请日期 1996.12.24
申请人 HOKURIKU ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YONESHIMA MASASHI;KADO SADAHISA;AKAZA JIRO
分类号 G01N21/88;G01N21/956;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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