| 发明名称 |
SOUND PRESSURE SENSOR FOR ULTRASONIC CLEANING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10185675(A) |
申请公布日期 |
1998.07.14 |
| 申请号 |
JP19960343698 |
申请日期 |
1996.12.24 |
| 申请人 |
SHIBAURA ENG WORKS CO LTD |
发明人 |
MATSUZAKI NOBUKI;KURIYAMA NOBORU |
| 分类号 |
G01H3/12;B08B3/12;H01L21/304;(IPC1-7):G01H3/12 |
主分类号 |
G01H3/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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