| 发明名称 |
CONTACT PROBE, PROBE CARD USING THE SAME AND PROBE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10185952(A) |
申请公布日期 |
1998.07.14 |
| 申请号 |
JP19960349120 |
申请日期 |
1996.12.26 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
MATSUDA ATSUSHI;UEKI MITSUYOSHI;ISHII TOSHINORI;TACHIKAWA NOBUYOSHI |
| 分类号 |
G01R1/073;G02F1/13;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 |
主分类号 |
G01R1/073 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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