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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10186672(A) 申请公布日期 1998.07.14
申请号 JP19960351095 申请日期 1996.12.27
申请人 SONY CORP 发明人 TAMIYA NAOMIKI
分类号 G03F7/039;G03F7/11;H01L21/027;H01L21/3205;(IPC1-7):G03F7/11;H01L21/320 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
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