发明名称 铜线和制造铜线之方法
摘要 本发明系有关具有几乎不含柱状晶粒的实质均匀不定向晶粒构造之铜线。本发明也有关一种制造铜线的方法,其包括:切割铜箔以形成至少一般铜线,该铜箔系具有几乎不含柱状晶粒的实质均匀不定向晶粒构造之可退火电沈积铜箔,该铜箔的特征在于经177℃退火15分钟后具有至少约25%的疲劳延性,及将该股铜线成型以使该股线具有所欲横截面形状和尺寸。本发明也有关一种制造铜线的方法,其包括,将电解质水溶液流经阳极与阴极之间并将一有数量的电压施加在该阳极与阴极之上以在该阴极上面沈积铜箔,该电解质溶液的特征在于有最高达约5ppm的氯离子浓度及最高达约0.2ppm的有机添加剂浓度;切割该箔片以形成至少一股线;及将该股线成型处理以使该股线具有所欲横截面形状和尺寸。
申请公布号 TW336325 申请公布日期 1998.07.11
申请号 TW085109477 申请日期 1996.08.03
申请人 电子铜线产物有限公司 发明人 R.杜恩.亚柏森;辛尼丁.克劳;柏.史奈德;夏伦K.杨;乌瑞克.波勒;劳伯丁.佛德;路德.威区曼
分类号 H01B1/02;H01B13/00 主分类号 H01B1/02
代理机构 代理人 林镒珠 台北巿长安东路二段一一二号九楼
主权项 1.一种铜线,其具有几乎不含柱状晶粒的实质均匀 不定向 晶粒构造,该铜的平均晶粒尺寸高达8微米,在23℃ 的最 终抗张强度为60,000至95,000psi,在23℃的伸长率为8% 至18%。2.如申请专利范围第1项之线,其中该线具有 几乎不含孪 晶间界且实质地无孔性之晶粒构造。3.如申请专 利范围第1项之线,其中该线在180℃具有于22 ,000至32,000 psi范围内的最终抗张强度及在180℃下 于 24%至45%范围内的伸长率。4.如申请专利范围第1项 之线,其中该线具有圆形横截面 形状。5.如申请专利范围第1项之线,其中该线具有 方形或长方 形横截面形状。6.如申请专利范围第1项之线,其中 该线具有十字形,星 形,半圆形,多边形,竞赛场形,卵形,扁平形或有肋 骨 状突起的扁平形之横截面形状。7.一种制造铜线 的方法,其包括:(A)将电解质水溶液流 经阳极与阴极之间并在阳极与阴极之间施加一有 效量的电 压以在阴极上沈积具有几乎不含柱状晶粒的实値 均匀不定 向晶粒结构之铜箔,其中该电解质溶液的特征在于 含有最 高达5ppm的氯离子浓度和最高达0.2ppm的有机添加剂 浓度 ;(B)切割该箔以形成至少一线股;及(C)对该股线进 行成 型处理以使该线股具有所欲横截面形状和尺寸。8 .如申请专利范围第7项之方法,其更包括在步骤(C) 之前 清洁步骤(B)所得该线股。9.如申请专利范围第7项 之方法,其中该阴极系水平装设 者。10.如申请专利范围第7项之方法,其中该阴极 系垂直装设 者。11.如申请专利范围第7项之方法,其中该切割 步骤(B)包 括将在该阴极上的箔片划线切割出以形成该线股 及从阴极 取下该线股。12.如申请专利范围第11项之方法,其 中在该步骤(B)之前 ,将该阴极从该电铸电池中取出。13.如申请专利范 围第7项之方法,其中该电解质溶液具有 最高达1ppm的氯离子浓度。14.如申请专利范围第7 项之方法,其中该电解质溶液具有 零之自由氯离子浓度。15.如申请专利范围第7项之 方法,其中该电解质溶液不含 有机添加剂。16.如申请专利范围第7项之方法,其 中沈积该铜所用的电 流密度系在500至2000安培/平方尺范围之内。17.如 申请专利范围第7项之方法,其更包括在步骤(B)之 前将该箔退火处理之步骤。18.如申请专利范围第7 项之方法,其更包括对该线进行退 火处理之步骤。19.如申请专利范围第7项之方法, 其中该线具有圆形横截 面形状。20.如申请专利范围第7项之方法,其中该 线具有方形或长 方形横截面形状。21.如申请专利范围第7项之方法 ,其中该线具有十字形, 星形,半圆形,多边形,竞赛场形,卵形,扁平形或有 肋 状突起的扁平形之形式的横截面形状。22.一种制 造铜线之方法,其包括:(A)将铜箔切割形成至 少一股铜线,该铜箔为可退火的电沈积铜箔,其具 有几乎 不含柱状晶粒的实质均匀不定向晶粒构造,且该铜 箔的特 征在于其在177℃退火处理15分钟后具有至少25%的 疲劳延 性;及(B)对该线股进行成型以使该股具有所欲的构 截面 形状和尺寸。23.如申请专利范围第22项之方法,其 中该箔系经退火者 且该箔的特征为具有至少65%的疲劳延性。24.如申 请专利范围第22项之方法,其中该箔在23℃具有 60,000至95,000psi范围内的最终抗张强度。25.如申请 专利范围第22项之方法,其中该箔在23℃具有8 %至18%范围内的伸长率。26.如申请专利范围第22项 之方法,其中该箔在180℃具有 22,000至32,000psi范围内之最终抗张强度。27.如申请 专利范围第22项之方法,其中该箔在180℃具有 23%至37%的伸长率。28.如申请专利范围第22项之方 法,其中该箔在经177℃退 火处理15分钟后具有23℃下于42,000至70,000psi范围内 之最终抗张强度。29.如申请专利范围第22项之方 法,其中该箔在177℃退火 处理15分钟后,具有23℃下于15%至31%范围内的伸长 率。30.如申请专利范围第22项之方法,其中该箔在 经177℃退 火处理15分钟后具有180℃下于22,000至32,000psi范围 内 之最终抗张强度。31.如申请专利范围第22项之方 法,其中该箔在177℃退火 处理15分钟之后,具有180℃下于24%至38%范围内的伸 长 率。32.如申请专利范围第23项之方法,其中该箔在 23℃下于 36,000至48,000psi范围内之最终抗张强度。33.如申请 专利范围第23项之方法,其中该箔具有在23℃ 下于23%至36%范围内之伸长率。34.如申请专利范围 第23项之方法,其中该箔在180℃下于 22,000至32,000psi范围内之最终抗张强度。35.如申请 专利范围第23项之方法,其中该箔在具有180℃ 下于25%至40%范围内之伸长率。36.如申请专利范围 第22项之方法,其中该箔的平均晶粒 尺寸为最高达3微米。37.如申请专利范围第22项之 方法,其中该箔在经177℃退 火处理15分钟后所具平均晶粒尺寸为高达5微米。 38.如申请专利范围第23项之方法,其中该箔的平均 晶粒 尺寸为最高达8微米。39.如申请专利范围第22项之 方法,其中该线具有圆形横 截面形状。40.如申请专利范围第22项之方法,其中 该线具有方形或 长方形横截面形状。41.如申请专利范围第22项之 方法,其中该线具有十字形 ,星形,半圆形,多边形,竞赛场形,卵形,扁平形或有 肋骨状突起的扁平形之形状的横截面形状。图式 简单说明 :图1为阐示本发明一实施例的流程图,其中系将铜 电沈 积在垂直取向的阴极上面以形成铜箔片,将箔片划 线切割 并从阴极上取下来成为铜线股,然后将铜线成型处 理以使 铜线具有所欲横断面形状和尺寸;图2为阐示本发 明另一 实施例的流程图,其中系将铜电沈积在水平取向的 阴极上 形成铜箔片,然后将箔片从阴极取出,切割形成一 或多股 铜线,接着将铜线股成型处理形成具有所欲横断面 形状和 尺寸的铜线;图3-20阐示根据本发明制成的铜线之 横断面 形状;图21为实施例1第5号铜箔样品所具横断面以 800放大倍率取得之显微照片;和图22为实施例1第8 号铜箔样 品所具横断面以800放大倍率取得之显微照片。
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