| 主权项 |
1.一种晶圆探针装置之遥控操作系统,系由:具有显 示画 面之主电脑;及复数的探针手段,及具有可以同时 显示这 些复数的探针装置所分别对应的影像资讯数据与 表示数据 的触控式表示手段的探针装置,其中,各探针手段 系具有 藉由探针检查晶圆而可以连续摄影并输出影像资 讯数据的 影像处理部,及控制此影像处理部与显示控制部的 输出的 探针控制部,及具有设于前述主电脑与触控面板而 分别可 以驱动前述各控制部的输入手段,可以藉由探针手 段输出 影像资讯数据及显示数据而同时在触控面板和主 电脑显示 画面上显示影像资讯数据及显示数据的操作手段; 及于前 述复数的探针装置的触控面板分别表示影像资讯 数据与显 示数据,并于其中选出由一组探针手段所得之影像 资讯数 据与显示数据,并将其显示在前述主电脑的显示画 面的选 择显示手段所构成,可藉由主电脑的显示手段来操 作探针 装置。2.如申请专利范围第1项之系统,其中输入手 段系至少具 备有键盘、触控面板或者是滑鼠。3.如申请专利 范围第1项之系统,其中,选择显示手段系 具有前述主电脑用之影像抓取卡,及接续于此影像 抓取卡 的输出端,而于输入端接续着前述复数的探针手段 的输出 端的多重发讯器。4.如申请专利范围第1项之系统, 其中,前述的显示控制 部,系具有:记忆由影像处理部传来的影像资讯数 据的第 1记忆手段,及记忆显示数据的第2记忆手段,及具有 控制 这些记忆手段的CPU;其中,前述影像处理部系具有 拍摄 晶圆并将其摄得的影像资讯数据输出的摄影手段, 及控制 传送此影像资讯数据至第1记忆手段的CPU;至于前 述探针 控制部系具有控制前述影像处理部的CPU以及表示 控制部 的CPU用的CPU,而且,具有接续着此探针控制部的CPU 与 前述主电脑之区域网路(LAN)。5.一种晶圆探针装置 之遥控操作系统,系由:具有显示画 面之主电脑;及复数的探针手段;及具有可以同时 显示这 些复数的探针装置所分别对应的影像资讯数据与 表示数据 的触控面板的复数的探针装置,其中,各探针手段 系具有 藉由探针检杆晶圆而可以连续摄影并输出影像资 讯数据的 影像处理部,及控制此影像处理部与显示控制部的 输出的 探针控制部,及具有设于前述主电脑与触控面板而 分别可 以驱动前述各控制部的输入手段,可以藉由探针手 段输出 影像资讯数据及显示数据而同时在触控面板和主 电脑显示 画面上显示影像资讯数据及显示数据的操作手段; 及于前 述复数的探针装置的触控面板分别表示影像资讯 数据与显 示数据,并于其中选出由复数组探针手段所得之影 像资讯 数据与显示数据,并将其显示在前述主电脑的显示 画面的 选择显示手段。6.如申请专利范围第5项之系统,其 中输入手段系至少具 备有键盘、触控面板或者是滑鼠。7.如申请专利 范围第5项之系统,其中,前述选定显示手 段系具有:前述主电脑用的复数的影像抓取卡,及 接续于 此影像抓取卡的输出端,而于输入端接续着前述复 数的探 针手段的输出端的多重发讯器。图式简单说明:第 1图为 相关于本发明第1实施例之晶圆探针装置之遥控操 作系统 。第2图为相关于本发明第2实施例之晶圆探针装 置之遥控 操作系统。第3图为说明本发明变形范例的萤幕显 示画面 。第4图为本发明第1实施例之变形范例。第5图为 视窗环 境的主电脑画面。 |
