Negativ arbeitende Photoresistzusammensetzung,申请号DE19936017347T-传众专利搜索

发明名称	Negativ arbeitende Photoresistzusammensetzung
摘要
申请公布号	DE69317347(T2)	申请公布日期	1998.07.09
申请号	DE19936017347T	申请日期	1993.08.19
申请人	SUMITOMO CHEMICAL CO., LTD., OSAKA, JP	发明人	UEDA, YUJI, IZUMI-SHI, JP;TAKEYAMA, NAOKI, SETTSU-SHI, JP;UEKI, HIROMI, MISHIMA-GUN, OSAKA, JP;KUSUMOTO, TAKEHIRO, TAKARAZUKA-SHI, JP;NAKANO, YUKO, IBARAKI-SHI, JP
分类号	G03F7/004;G03F7/029;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004	主分类号	G03F7/004
代理机构		代理人
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