发明名称
摘要
申请公布号 JP2774878(B2) 申请公布日期 1998.07.09
申请号 JP19910095520 申请日期 1991.04.25
申请人 发明人
分类号 H01J37/252;G01N23/225;G01Q30/02;G01Q60/44;H01J37/256;H01J49/14;H01J49/32;(IPC1-7):H01J37/252 主分类号 H01J37/252
代理机构 代理人
主权项
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