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发明名称 Verfahren zur Behandlung von Werkstücken durch reaktives Ionenätzen
摘要
申请公布号 DE3940820(C2) 申请公布日期 1998.07.09
申请号 DE19893940820 申请日期 1989.12.11
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450 HANAU, DE 发明人 GRUENWALD, HEINRICH, DR., 7413 GOMARINGEN, DE;RAMISCH, HANS, DIPL.-ING., 6230 FRANKFURT, DE;HUSSLA, INGO, DR., 6450 HANAU, DE
分类号 C23F4/00;H01L21/308;H01L21/3213;(IPC1-7):C23F4/00;H01L21/306;H01L21/768 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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