INDUKTIV-GEKOPPELTE PLASMA-ZERSTAÜBUNGSKAMMER MIT FÄHIGKEITEN ZUR ZERSTAÜBUNG VON LEITENDEM MATERIAL,申请号DE19946010830-传众专利搜索

发明名称	INDUKTIV-GEKOPPELTE PLASMA-ZERSTAÜBUNGSKAMMER MIT FÄHIGKEITEN ZUR ZERSTAÜBUNG VON LEITENDEM MATERIAL
摘要
申请公布号	DE69410830(D1)	申请公布日期	1998.07.09
申请号	DE19946010830	申请日期	1994.11.28
申请人	MATERIALS RESEARCH CORP., ORANGEBURG, N.Y., US	发明人	BAYER, ROBERT, WEST MILFORD, NJ 07480, US;LANTSMAN, ALEXANDER D., APARTMENT 2, MIDDLETOWN, NY 10940, US;SEIRMARCO, JAMES, A., BUCHAMAM, NY 10511, US
分类号	H05H1/46;H01J37/32;H01L21/203;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
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