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发明名称 MUSHROOM EPITAXIAL GROWTH IN TIER-TYPE SHAPED HOLES
摘要
申请公布号 US3574008(A) 申请公布日期 1971.04.06
申请号 USD3574008 申请日期 1968.08.19
申请人 TRW SEMICONDUCTORS INC. 发明人 EDWARD J. RICE
分类号 H01L21/205;H01L21/00;H01L21/20;H01L29/861;(IPC1-7):H01L7/36;H01L5/00 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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