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发明名称 Methode zur Herstellung von Halbleiterchips
摘要
申请公布号 DE69224819(T2) 申请公布日期 1998.07.09
申请号 DE1992624819T 申请日期 1992.08.15
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KASHIWA, TAKUO, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., 4-CHOME, ITAMI-SHI, HYOGO-KEN, JP;ISHIKAWA, TAKAHIDE, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., 4-CHOME, ITAMI-SHI, HYOGO-KEN, JP;NOTANI, YOSHIHIRO, C/O MITSUBISHI DENKI K.K, 4-CHOME, ITAMI-SHI, HYOGO-KEN, JP
分类号 H01L21/301;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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