发明名称 Speicherzellenanordnung und ein Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号 DE19617646(C2) 申请公布日期 1998.07.09
申请号 DE1996117646 申请日期 1996.05.02
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 HOFMANN, FRANZ, DR., 80995 MUENCHEN, DE;KRAUTSCHNEIDER, WOLFGANG, DR., 83104 TUNTENHAUSEN, DE;WILLER, JOSEPH, DR., 85521 RIEMERLING, DE
分类号 G11C11/56;H01L21/8246;H01L27/112;(IPC1-7):H01L27/112;H01L21/824 主分类号 G11C11/56
代理机构 代理人
主权项
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