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发明名称 VERFAHREN ZUR VERBINDUNG EINER SPUTTER-TARGETTRÄGERPLATTENEINHEIT
摘要
申请公布号 DE69318975(D1) 申请公布日期 1998.07.09
申请号 DE19936018975 申请日期 1993.03.17
申请人 TOSOH SMD, INC., GROVE CITY, OHIO, US 发明人 MUELLER, JOHN JOSEPH, HILLIARD, OH 43026, US;STELLRECHT, DAVID EUGENE, COLUMBUS, OH 43212, US
分类号 B23K20/00;B23K20/02;B23K20/14;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34;B23K31/00 主分类号 B23K20/00
代理机构 代理人
主权项
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