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发明名称 Polycrystalline silicon rod for floating zone method and process for making the same
摘要
申请公布号 EP0445036(B1) 申请公布日期 1998.07.08
申请号 EP19910400544 申请日期 1991.02.28
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED 发明人 IKEDA, YASUHIRO;OGURO, KYOJI
分类号 C30B13/00;C30B29/06;(IPC1-7):C30B13/00 主分类号 C30B13/00
代理机构 代理人
主权项
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