| 发明名称 |
TEMPERATURE COMPENSATION IN A REGULATED HEAT CONDUCTION VACUUM GAUGE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0689669(B1) |
申请公布日期 |
1998.07.08 |
| 申请号 |
EP19940909045 |
申请日期 |
1994.02.25 |
| 申请人 |
BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
SCHOROTH, ANNO |
| 分类号 |
G01D3/028;G01L21/12;(IPC1-7):G01L21/12 |
主分类号 |
G01D3/028 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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