An apparatus for measuring electromagnetic field distribution using a focused electron beam,申请号EP19930308385-传众专利搜索

发明名称	An apparatus for measuring electromagnetic field distribution using a focused electron beam
摘要
申请公布号	EP0595548(B1)	申请公布日期	1998.07.08
申请号	EP19930308385	申请日期	1993.10.21
申请人	HITACHI, LTD.	发明人	YAJIMA, YUSUKE;TAKAHASHI, YOSHIO;ICHIKAWA, MASAKAZU;HOSOKI, SHIGEYUKI
分类号	G01N23/04;G01R31/305;G01R33/028;G01R33/12;(IPC1-7):G01R31/305	主分类号	G01N23/04
代理机构		代理人
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