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发明名称 ROBOT USED IN CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 JPH10180679(A) 申请公布日期 1998.07.07
申请号 JP19960357704 申请日期 1996.12.26
申请人 SHIBAURA ENG WORKS CO LTD 发明人 OBATA KINJI
分类号 B25J9/02;B25J19/00;(IPC1-7):B25J19/00 主分类号 B25J9/02
代理机构 代理人
主权项
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