发明名称 ULTRASONIC WASHER AND METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH10180206(A) 申请公布日期 1998.07.07
申请号 JP19960359832 申请日期 1996.12.24
申请人 SAWAA CORP:KK 发明人 TANO MAMORU
分类号 B08B3/12;B05B17/06;B41F35/00;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/12 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
主权项
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