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发明名称 ULTRASONIC WASHER
摘要
申请公布号 JPH10180203(A) 申请公布日期 1998.07.07
申请号 JP19960343697 申请日期 1996.12.24
申请人 SHIBAURA ENG WORKS CO LTD 发明人 MATSUZAKI NOBUKI;KURIYAMA NOBORU
分类号 B08B3/12;B06B1/04;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/12 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
主权项
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