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发明名称 MOCVD METHOD OF DIELECTRIC THIN FILM AND ITS ANNEALING METHOD
摘要
申请公布号 JPH10182300(A) 申请公布日期 1998.07.07
申请号 JP19960338225 申请日期 1996.12.18
申请人 SONY CORP 发明人 SAITO MASAKI
分类号 C30B33/02;C23C16/18;C23C16/56;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):C30B33/02 主分类号 C30B33/02
代理机构 代理人
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