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发明名称 PREPARATION OF THROUGH HOLE, SILICON SUBSTRATE HAVING THROUGH HOLE, DEVICE USING THE SUBSTRATE, MANUFACTURE OF INK JET HEAD, AND INK JET HEAD
摘要
申请公布号 JPH10181032(A) 申请公布日期 1998.07.07
申请号 JP19970308619 申请日期 1997.11.11
申请人 CANON INC 发明人 YAGI TAKAYUKI;KOBAYASHI JUNICHI;KADOMA GENZO;KAWAKADO YASUSHI;HAYAKAWA YUKIHIRO;FUJITA KATSURA;MATSUNO YASUSHI;TAKIZAWA MASAHIRO;MAKINO NORIFUMI
分类号 B41J2/05;B41J2/16;B81B3/00;B81C1/00;G01B21/30;G01N37/00;G01Q60/38;G01Q70/16;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;(IPC1-7):B41J2/16 主分类号 B41J2/05
代理机构 代理人
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