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发明名称 RESIST APPLYING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10180173(A) 申请公布日期 1998.07.07
申请号 JP19960343867 申请日期 1996.12.24
申请人 SONY CORP 发明人 MURATA YASUSHI
分类号 B05C11/08;H01L21/027;(IPC1-7):B05C11/08 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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