| 摘要 |
<p>스테퍼 장치에 관한 것이다. 베이스와, 베이스상의 평면상에서 이동이 가능한 플레이트 스테이지와, 플레이트 스테이지상에 설치되어 플레이트를 흡착하는 진공 척과, 진공 척에 형성된 중공부내에서 상승 · 하강운동 가능하도록 설치되어 플레이트를 진공 척상에 안착시키는 실린더를 포함하고, 실린더는 흡착기를 장착하는 것을 특징으로 하는 스테퍼 장치이다. 이와 같이 실린더 끝단에 흡착기를 장착함으로써 위치 오차를 최소화함에 따라 플레이트 정렬시 공정 시간을 단축시킬 수 있다.</p> |
