웨이퍼 탈착장치

摘要

본 고안은 웨이퍼안착부에 형성된 홀을 통하여 가스가 웨이퍼 하부에 공급되고 동시에 척이 웨이퍼 가장자리 하부에 밀착되어 상방향으로 이동되면서 웨이퍼를 웨이퍼안착부로 부터 탈착시키는 웨이퍼 탈착장치에 있어서, 웨이퍼 가장자리 하부에 노즐이 설치되어서 웨이퍼와 웨이퍼안착부 사이에 가스가 분사되면서 웨이퍼안착부로 부터 웨이퍼를 탈착시킨다.