반도체 장치의 케미컬 베스

摘要

반도체 장치의 케미컬 베스에 대해 기재되어 있다. 이는, 화학 용액을 담을 수 있도록 욕조모양으로 된 내조, 상기 내조의 바닥에 상기 바닥의 가장자리를 두르는 모양으로 설치된 화학 용액 유입관 및 상기 내조에서 흘러넘치는 화학 용액을 받기 위해 상기 내조의 측벽을 둘러싸는 형태로 형성된 외조를 구비하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 내조 내의 화학 용액의 분포를 균일하게 할 수 있다.