发明名称 Verfahren zur Herstellung von siliziumhaltigen keramischen Beschichtungen eines chemischen Reaktors durch thermische Zersetzung von Silazanen
摘要
申请公布号 DE69408280(T2) 申请公布日期 1998.07.02
申请号 DE19946008280T 申请日期 1994.11.10
申请人 ENICHEM S.P.A., MAILAND/MILANO, IT 发明人 CRUSE, RICHARD, KENDALL PARK, NEW JERSEY 08824, US;SZALAI, VERONIKA, NEW HAVEN, CONNECTICUT 06511, US;CLARK, TERENCE, PRINCETON, NEW JERSEY 08542, US;ROHMAN, STEPHEN, KENDALL PARK, NEW JERSEY 08824, US;MININNI, ROBERT, STOCKTON, NEW JERSEY 08559, US
分类号 C07F7/21;C10B43/14;C10G9/16;C23C16/32;C23C16/34;C23C16/36;(IPC1-7):C23C16/32;B01J19/02;C07F7/10 主分类号 C07F7/21
代理机构 代理人
主权项
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