| 摘要 |
<p>Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Kathodenzerstäubung für die Herstellung von Schichten auf einem Substrat mittels einer in einer Vakummkammer einbringbaren Zerstäubungskathode, die mit Bezug auf die Mittelachse der Zerstäubungskathode konzentrisch angeordnet Polschuhe, ein Target und mindestens einen Magneten bzw. Ringmagneten (9) aufweist, wobei mit Bezug auf die Mittelachse der Zerstäubungskathode ein geteiltes Joch rotationssymmetrisch angeordnet ist.</p> |
