发明名称 Laserinterferometrischer Sensor
摘要
申请公布号 DE4129359(C2) 申请公布日期 1998.07.02
申请号 DE19914129359 申请日期 1991.09.04
申请人 FUESL, ROLAND, DR.-ING., 98693 ILMENAU, DE;JAEGER, GERD, PROF. DR.-ING.HABIL., 98693 ILMENAU, DE 发明人 FUESL, ROLAND, DR.-ING., 98693 ILMENAU, DE;JAEGER, GERD, PROF. DR.-ING.HABIL., 98693 ILMENAU, DE
分类号 G01C9/06;G01D5/26;G01P1/00;G01P15/093;(IPC1-7):G01J9/02;G01D5/28;G01L9/06;G01P15/03 主分类号 G01C9/06
代理机构 代理人
主权项
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