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经营范围
发明名称
Elektronen-Reflektions-Holographie-Gerät
摘要
申请公布号
DE69031765(T2)
申请公布日期
1998.07.02
申请号
DE19906031765T
申请日期
1990.01.12
申请人
HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
OSAKABE, NOBUYUKI, KODAIRA-SHI, JP;TONOMURA, AKIRA, KOGANEI-SHI, JP
分类号
H01J37/22;G01Q30/04;H01J37/28;H01J37/29;(IPC1-7):H01J37/29
主分类号
H01J37/22
代理机构
代理人
主权项
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