发明名称 Elektronen-Reflektions-Holographie-Gerät
摘要
申请公布号 DE69031765(T2) 申请公布日期 1998.07.02
申请号 DE19906031765T 申请日期 1990.01.12
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 OSAKABE, NOBUYUKI, KODAIRA-SHI, JP;TONOMURA, AKIRA, KOGANEI-SHI, JP
分类号 H01J37/22;G01Q30/04;H01J37/28;H01J37/29;(IPC1-7):H01J37/29 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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