发明名称 METHOD FOR SUPPLYING GAS TO A CHAMBER AND METHOD FOR REGULATING THE CONTENT OF A GIVEN ELEMENT IN THE ATMOSPHERE OF SUCH A CHAMBER
摘要 L'invention concerne un procédé d'alimentation en gaz d'une enceinte (3, 12), qui est alimentée par un réseau d'alimentation comportant au moins une ligne primaire (1, 9, 10), reliée en sa partie amont à une source dudit gaz (5), et au moins deux lignes secondaires respectives (1i, 9i, 10i) connectées à la ligne primaire, se caractérisant en ce que l'on mesure la teneur, en un élément donné, de l'atmosphère de l'enceinte, en au moins un point de l'enceinte, l'on effectue une comparaison de la teneur mesurée avec au moins une valeur de consigne déterminée pour la teneur en ledit élément de l'atmosphère de l'enceinte en ledit point, et l'on fait varier, le cas échéant, selon le résultat de cette comparaison la pression du gaz au niveau d'un des points (Ai) du réseau.
申请公布号 CA2247515(A1) 申请公布日期 1998.07.02
申请号 CA19972247515 申请日期 1997.12.17
申请人 L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCED ES GEORGES CLAUDE 发明人 LETURMY, MARC;PIOGER, FREDERIC
分类号 B23K31/02;B23K1/008;G05D11/13;(IPC1-7):G05D11/02;B23K3/08 主分类号 B23K31/02
代理机构 代理人
主权项
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