发明名称 Halbleitervorrichtung mit einer Isolierung durch ein dielektrisches Element und Herstellungsverfahren dafür
摘要
申请公布号 DE4326846(C2) 申请公布日期 1998.07.02
申请号 DE19934326846 申请日期 1993.08.10
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 TERASHIMA, TOMOHIDE, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 H01L21/331;H01L27/12;H01L29/06;H01L29/10;H01L29/40;H01L29/73;H01L29/739;H01L29/74;H01L29/78;H01L29/786;H01L29/861;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
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