| 摘要 |
<p>On décrit une buse (18) comprenant une série d'orifices (40) sur sa longueur qu'on utilise pour traiter un substrat (1, 12) et qui est réglable en rotation. La conception de la buse de cette invention permet au liquide d'être correctement distribué sur la longueur de la buse (18) quel que soit l'angle de la pulvérisation de l'aérosol. Ceci permet de produire un écoulement d'aérosol uniforme qui est indépendant de l'angle de pulvérisation. La conception de la buse de cette invention améliore la distribution uniforme du liquide à l'intérieur de la buse (18), qui outre le fait qu'elle assure une distribution du liquide plus uniforme, élimine également sensiblement les non uniformités temporelles sur la longueur de la buse. Cette invention concerne également une buse (18) qui peut être translatée dans une direction (B) qui la rapproche ou l'éloigne du substrat (1, 12) à traiter ou bien parallèlement à la surface du substrat . La buse (18) comprend une série d'orifices (40) de chute de gouttes formés dans le sens longitudinal sur au moins une partie de la buse, cette dernière étant divisée à l'intérieur sur sa longueur en première et deuxième cavités internes (104, 106) dotées de plusieurs ouvertures (108) situées entre les première et deuxième cavités internes (104, 106), lesdites ouvertures (108) étant orientées suivant un angle radial différent par rapport à l'axe longitudinal que l'angle radial des orifices de chute de gouttes. La buse (18) comprend de préférence un tube intérieur (100) et un tube extérieur (90) mutuellement portés et connectés. Cette invention concerne également la combinaison de cette buse (18) qui est réglable en rotation (A) et par translation (B) de manière indépendante.</p> |
