| 摘要 |
<p>Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Kathodenzerstäubung für die Herstellung von Schichten auf einem Substrat mittels einer in einer Vakuumkammer einbringbaren Zerstäubungskathode, die mit Bezug auf die Mittelachse der Zerstäubungskathode Polschuhe, ein Target und mindestens einen konzentrisch angeordneten Magneten bzw. Ringmagneten aufweist, wobei das Joch geteilt und rotationssymmetrisch ausgebildet ist und wobei mindestens ein ein veränderbares Magnetfeld erzeugendes Teil oder mindestens ein drehbarer Eisenkern vorgesehen ist.</p> |
