ELECTRODE ARRAY FOR FIELD CAGES

摘要

Eine Elektrodenanordnung für Feldkäfige, insbesondere in Mikrosystemen umfasst eine Vielzahl von Elektroden, in denen jeweils ein Endbereich über einen Zuleitungsbereich mit einem elektrischen Potential beaufschlagbar ist. Der Endbereich ist dazu eingerichtet, den jeweiligen Feldkäfig und inhomogene Abschirmfelder ausserhalb des Feldkäfig zu bilden. Der Zuleitungsbereich besitzt zur Verminderung von Thermokonvektionen eine Streifenform, deren Breite wesentlich geringer als charakteristische Ausmasse des Endbereiches ist.