| 主权项 |
1.一种使刻蚀剂废液再生的方法，它包括以下的步骤：由一刻蚀槽得到第一刻蚀剂废液，所述第一刻蚀剂废液含有CuCl；在电解槽中对所述第一刻蚀剂废液进行处理，所述电解槽在阳极与阴极之间有一隔膜，所述隔膜呈电中性，是非极性的，而且有低的电阻率以使该电解槽于极低的电压就能进行操作，所述处理包含下述步骤： 将第一刻蚀剂废液导入阴极， 使阴极铜离子的浓度保持低于20g/l， 将已电沉积在阴极上的铜取出，从而降低铜在第一刻蚀剂废 液中的含量； 将上述铜量已被降低的第一刻蚀剂废液导入阳极，结果通过 铜离子的氧化而使第一刻蚀剂得以再生，以及产生氯气； 将阳极中产生的氯气送往吸收塔； 将由所述刻蚀槽流出的第二刻蚀剂废液导入吸收塔，所述第 二刻蚀剂废液含CuCl； 用所述氯气使第二刻蚀剂废液中的铜离子氧化，借此使第二 刻蚀剂废液再生；以及 将已再生的第一和第二刻蚀剂废液送入所述刻蚀槽，或者，所述处理包含下述步骤： 将第一蚀刻剂废液导入阴极， 使阴极中铜离子浓度保持于20g/l以下， 将已电沉积在阴极上的铜取出，从而降低铜在第一刻蚀剂废液中的含量将氯离子与氯化铜的复合物由阴极送至阳极，从而产生氯气；将所述氯气导入吸收塔；将铜含量已被降低的第一刻蚀剂废液与来自所述刻蚀槽的含CuCl的第二刻蚀剂废液混合成为一种混合液；将所述混合液送入吸收塔；用氯气氧化所述混合物中的铜离子，使该混合物再生；以及将所述已再生的混合液送入所述刻蚀槽。 |
