摘要 |
LA FOSFINA SE GENERA MEDIANTE LA REACCION DE AGUA CON UNA FORMULACION DE UN FOSFURO DE METAL. EN UNA CONFORMACION, LA FORMULACION SE ENCUENTRA DENTRO DE UN ALOJAMIENTO (10) CERRADO POR UNA MEMBRANA (12) QUE ES PERMEABLE AL AGUA Y A LA FOSFINA. UN GAS QUE CONTIENE AGUA FLUYE A TRAVES DE LA MEMBRANA Y EL AGUA DEL GAS PENETRA EN EL INTERIOR DEL ALOJAMIENTO PARA REACCIONAR CON EL FOSFURO, PRODUCIENDO FOSFINA QUE TAMBIEN PENETRA A TRAVES DE LA MEMBRANA PARA INTRODUCIRSE EN EL FLUJO DE GAS. PUEDEN USARSE DOS MEMBRANAS (12A, 12B) PARA CERRAR EL ALOJAMIENTO, UNA PERMEABLE AL AGUA, LA OTRA PERMEABLE A LA FOSFINA. PUEDE INCLUIRSE UNA PLANCHA (17) Y UN ABSORBEDOR DE FOSFINA (18) PARA CONTROLAR LA PRODUCCION DE FOSFINA. EN UNA SEGUNDA CONFORMACION, LAS PASTILLAS DE UNA FORMULACION DE FOSFURO SE TRANSFIERE, PERIODICAMENTE, DESDE UNA TOLVA (23) HASTA UNA CAMARA (24) QUE CONTIENE AGUA. LA TRANSFERENCIA SE EFECTUA MEDIANTE UN MIEMBRO EN FORMA DE DISCO (25) MONTADO DEBAJO DE LA TOLVA Y SOBRE LA CAMARA. EL MIEMBRO EN FORMA DE DISCO TIENE AL MENOS UNA ABERTURA EN EL, DENTRO DE LA CUAL SE TRANSPORTAN LAS PASTILLAS DESDE LA SALIDA DE LA TOLVA HASTA EL PUERTO DE ENTRADA DE LA CAMARA. EL CONTROL DE LA PRODUCCION DE FOSFINA SE SUPLEMENTA VARIANDO LA TEMPERATURA DE AGUA Y USANDO UN DISPOSITIVO DE SEGURIDAD ADAPTADO PARA SUMINISTRAR GAS PURIFICADO AL GENERADOR. EL DISPOSITIVO DE SEGURIDAD UTILIZA UN DEPOSITO (73) DE GAS PURIFICADO (USUALMENTE AIRE SECO, NITROGENO O DIOXIDO DE CARBONO) A ALTA PRESION, QUE SE ESTABLECE ANTES DEL FUNCIONAMIENTO DEL GENERADOR DE FOSFINA. SI HAY UN FALLO DE SUMINISTRO DE ENERGIA ELECTRICA AL GENERADOR, O SI LA PRESION DEL GAS O LA CONCENTRACION DE FOSFINA EN EL GENERADOR ES DEMASIADO ALTA, SE ABRE UNA VALVULA (78) QUE DEJA QUE EL GAS FLUYA DESDE EL DEPOSITO AL INTERIOR DEL GENERADOR.
|