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发明名称 Plasmabearbeitungsverfahren und Plasmabearbeitungsgerät
摘要
申请公布号 DE69501624(T2) 申请公布日期 1998.07.02
申请号 DE19956001624T 申请日期 1995.03.21
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 HASHIZUME, JUNICHIRO, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO 146, DE;UEDA, SHIGENORI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO 146, DE;TSUCHIDA, SHINJI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO 146, DE
分类号 C23C16/24;C23C16/50;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
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