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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR COLD WALL CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 EP0850323(A1) 申请公布日期 1998.07.01
申请号 EP19960928810 申请日期 1996.08.14
申请人 TORREX EQUIPMENT CORPORATION 发明人 BRORS, DANIEL, L.;COOK, ROBERT, C.
分类号 C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;C23C16/48;C23C16/52;(IPC1-7):C23C16/00 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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