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发明名称 PLASMA GENERATING APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 KR0142041(B1) 申请公布日期 1998.07.01
申请号 KR19940022047 申请日期 1994.09.02
申请人 FUJITSU CO.,LTD 发明人 KAORU, USHI
分类号 C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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