| 发明名称 |
FAST TEMP. RAISING METHOD OF SUBSTRATE FOR FILM-FORMING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10176274(A) |
申请公布日期 |
1998.06.30 |
| 申请号 |
JP19960338468 |
申请日期 |
1996.12.18 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
SHIMIZU KATSUTOSHI;SASAGAWA EISHIRO;NAWATA YOSHIICHI;KANZAKI JUNICHI;UENO MOICHI |
| 分类号 |
C23C16/50;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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