发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MEASURING INSTRUMENT
摘要
申请公布号 JPH10177057(A) 申请公布日期 1998.06.30
申请号 JP19960336903 申请日期 1996.12.17
申请人 SONY CORP 发明人 MIYASHITA TSUTOMU
分类号 G01R31/26;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址