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发明名称
PROBER
摘要
申请公布号
JPH10177037(A)
申请公布日期
1998.06.30
申请号
JP19960335761
申请日期
1996.12.16
申请人
SONY CORP
发明人
SHINPO TAKESHI
分类号
G01R1/06;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/06
主分类号
G01R1/06
代理机构
代理人
主权项
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