| 发明名称 |
CVD DEVICE AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10178000(A) |
申请公布日期 |
1998.06.30 |
| 申请号 |
JP19960336551 |
申请日期 |
1996.12.17 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SATO HIDENORI;ANDO TOSHIO;OKAWA AKIRA |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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