发明名称 SEMICONDUCTOR SIMULATION METHOD, DEVICE, AND COMPUTER-READABLE RECORDING MEDIUM WHERE SEMICONDUCTOR SIMULATION PROGRAM IS STORED
摘要
申请公布号 JPH10177937(A) 申请公布日期 1998.06.30
申请号 JP19960339935 申请日期 1996.12.19
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 FUKUDA SANAE;AMAKAWA HIROTAKA;KANEMURA TAKANAGA
分类号 H01L29/00;G06F17/50;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L29/00
代理机构 代理人
主权项
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